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陶瓷傳感器與擴散硅傳感器的比較
陶瓷傳感器是指采用陶瓷材料的用于感受測量信號用于轉換輸出的傳感裝置。陶瓷是一種公認的高彈性、抗腐蝕、抗磨損、抗沖擊和振動的材料，并具有絕佳的熱穩定性。而高性能、低價格的陶瓷傳感器將是壓力傳感器的發展方向。 用于傳感器的陶瓷材料可根據其不同的特征參數分類為： 化學成分、相結構成分、物理(電、磁、介質)性質。
陶瓷傳感器是干式傳感器，過程壓力直接作用在堅固的陶瓷膜片上，基板電極和膜片電極可以檢測出與壓力相關的電容變化，測量范圍取決于陶瓷膜片的厚度。膜片破碎的自診斷功能。保證抗過壓能力可達正常壓力的40倍 。高純度99.9%陶瓷，具有與哈氏合金相同的抗化學腐蝕能力。適用于真空場合。第二腔室用于提高機械強度，阻止因傳感器損壞導致介質泄漏。
擴散硅傳感器:基本原理是利用半導體的壓阻效應和微機械加工技術，在單晶硅片的特定晶向上，用光刻、擴散等半導體工藝制做一惠斯登電橋，形成敏感膜片，當受到外力作用時產生微應變，電阻率發生變化，使橋臂電阻發生變化（一對變大一對變小）在激勵電壓信號輸出，經過計算機溫度補償、激光調阻、信號放大等處理手段和嚴格的裝配檢測、標定等工藝，生產出具有標準輸出信號的壓力變送器.
