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校準(zhǔn)電離真空計(jì)時,應(yīng)注意什么

電離真空計(jì)是基于在一定條件下,待測氣體的壓力與氣體電離產(chǎn)生的離子流呈正比關(guān)系的原理制作的真空測量儀器。
(1)一般情況下,規(guī)管和系統(tǒng)連接時,先將未開封的規(guī)管和測量電路連接到一起試一下,檢查規(guī)管是否正常,然后再接到系統(tǒng)。
(2)在校準(zhǔn)的過程中,如果出現(xiàn)故障,在原因不明的情況下,拿一支未開封的規(guī)管試一下,判斷是規(guī)管的問題,還是電路的問題。如果換上未開封的規(guī)管一切正常,說明原規(guī)管有問題;如果換上未開封的規(guī)管仍然不正常,說明電路有問題,這樣就縮小了故障的范圍。
(3)規(guī)管安裝時應(yīng)豎直安裝,否則在加熱除氣,烘烤時柵極和陰極產(chǎn)生變形,相對位置變化,將會嚴(yán)重影響測量精度。
(4)在開燈絲前,判斷被測真空系統(tǒng)中的真空度確信小于10-1pa時,才能開燈絲,否則真空度太低,導(dǎo)致規(guī)管陰極氧化而燒毀。
(5)在讀數(shù)之前,應(yīng)先調(diào)整好發(fā)射電流、零點(diǎn)及滿度。具體步驟是:發(fā)射電流—零點(diǎn)—滿度—發(fā)射電流。
(6)電離真空計(jì)只需要加電預(yù)熱10分鐘就可以校準(zhǔn)了。