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上海千實精密機電有限公司解讀不同微加速度計

  

標準集團(香港)有限公司創立于2003年,總部在中國香港,研發生產銷售紡織類、汽車內外飾類、皮革鞋材類、口罩防護服類等材料測試儀器,在上海設有分公司上海泛標紡織品檢測技術有限公司,全面負責中國大陸地區的銷售和售后服務,上海千實精密機電科技有限公司是其生產廠家,負責測試儀器的加工生產。

  

公司起步于紡織領域的開發,秉持專業、真誠、熱情、高效的服務理念,全面貼近客戶需求,獲得客戶高度認可。一直以來,我們始終堅持提供適用產品,依賴專業高效的服務團隊,整合技術和資源優勢,為客戶解決科研生產中遇到問題提供支持,從而帶動國內科研及相關行業水平的提高。通過個性化的售前產品咨詢,高效率的售后安裝、維護和維修,標準集團正越來越多贏得市場和客戶的信賴。

  

工廠使命:

  

上海千實致力于創新高質量的測試儀器,我們的任務是藉由團隊的合作、細膩的創新、實際的效能與好的服務,將完整的實驗室解決方案交給我們的客戶及經銷伙伴。

  

公司價值觀:

  

1.客戶至上

  

上海千實在乎您的需求,獲得您的信賴是我們永遠的目標。專注于實現每個客戶的需求,無論是客戶定制產品、技術支持或其他相關服務,我們都全心全意完成您的期盼。

  

2.創新思想

  

上海千實堅持運用實驗室技術,并累積每個使用者及員工的實際經驗,不斷突破創新,為所有顧客創造好的測試設備產品。

  

3.技術水平

  

上海千實擁有好的研發團隊、產品管理專家以及杰出的服務人員,我們結合了各項實驗經驗與多方客戶反饋,確保千實提供給您質量的產品及服務。

  

4.人性化儀器

  

上海千實提供操作簡單、便利的測試儀器,擁有符合用戶體驗性的貼心設計,如觸控面板及小型按鍵板,讓客戶方便、輕松的使用與操作。

  

5.質量政策

  

上海千實力圖滿足顧客所期望的標準,達到更高的境界,我們承諾會藉由各項研究及開發不斷提升我們的服務質量,同時也接受每個迎面而來的挑戰。

微加速度計是指加速度計與微電子機械系統(MEMS)相結合的一種用于測量加速度變化量的裝置,也叫MEMS加速度計。它是一種慣性傳感器,能夠測量物體的加速力,能夠及時分析物體運動狀態,通過微電子機械系統測量出物體的運動狀態及軌跡。
微加速度計按檢測方式,可分為壓阻式、電容式、隧道式、共振式、熱形式等幾種。
1. 壓阻式加速度計:通過在質量塊的支撐(suspension)上嵌有壓敏電阻來感應質量塊偏移對支撐產生的應力進而獲得加速度的信息。壓阻式的主要問題是靈敏度較低,而且溫度穩定性不好,一般需要大的質量塊和溫度補償。
2. 電容式:質量快的位移導致其本和另一極板之間的電容發生變化,或者是質量快上有梳狀電極,位移導致感應電極之間的電容量變化。通過測量電容量的變化獲得質量快位移的變化進而知道加速度。電容式的優點是靈敏度高,噪聲小,溫度穩定性好,缺點是易受電磁干擾,需要特別封裝。
3. 隧道電流式:通過在活動部件上添加一個隧穿針尖和另一個電極之間通有隧穿電流。當載體具有加速度時,活動部件的位移會導致隧道電流的劇烈變化(典型的是位移變化一個埃——10^-10米,隧道電流變化一倍),通過測量隧道電流可以獲得很高的加速度的感應靈敏度,而且由于質量快可以做的很小,因此器件的體積很小,缺點是低頻噪聲很大,供電電壓較高(上百伏)。
4. 諧振式:通過質量塊受到的慣性力來改變另一根梁的軸向應力進而改變梁的共振頻率。通過共振頻率的測量就可以獲得加速度的信息。
5. 熱傳感式:質量塊的位移改變質量塊和散熱之間的間距進而改變質量快的溫度,通過測量溫度的變化來感知加速度。
其中,電容式微加速度計質量塊在有加速度時向下運動,與邊框上的另一個電極的距離發生變化,通過檢測電容的變化可獲得質量塊運動的位移,主要結構分為懸臂擺片式和梳齒狀的折疊梁式,并變異成其它類型。前者結構相對簡單些,制作上也多采用體硅加工方法,簡單的擺片式結構由上、下固定電極和可動敏感硅懸臂梁電極組成,用半導體平面工藝各向異性腐蝕,靜電封接技術封裝完成制作。后者可看作是懸臂梁的并、串組合,設計上要復雜得多,微加工方法則以表面犧牲層技術為主,多晶硅材料的各向同性性質可保證微機械性能的對稱性,批量加工精度高,采用這種結構的敏感部分尺寸做得很小,實現與外圍電路的單片集成。電容式微加速度計的靈敏度高、噪音低、漂移小、結構簡單,在汽車安全氣囊系統和防滑系統獲得廣泛應用,其檢測范圍與準確度的性能指標分別為50g(重力加速度),200°/s、500mg、10°/s、100°/s、1°/s,安全氣囊系統檢測碰撞的微加速度計的檢測范圍為±30~50g,精度100mg,檢測側面碰撞大約為250g或500g,防滑穩定系統的測量范圍±2g,精度10mg。